技術文章_第(117)頁－深圳市深國安電子科技有限公司

2025-04-23

三氟化氮檢測儀適用于多種工業(yè)和科研場景，特別是在需要監(jiān)測高純度氣體環(huán)境或潛在泄漏風險的環(huán)境中。以下是對三氟化氮檢測儀適用場景的詳細分析：一、半導體制造行業(yè)1.原理及需求在半導體制造過程中，三氟化氮常用于化學氣相沉積（CVD）和蝕刻工藝。例如，在等離子體增強化學氣相沉積（PECVD...

2021
6-18

可燃性氣體甲烷應該如果監(jiān)測甲烷（CH4）在常溫常壓下是無色、無味、無臭、無毒氣體。植物在沒有空氣的條件下腐爛以及一些復雜分子經過斷裂最終會生成甲烷。天然氣的主要成分就是甲烷，煤礦的瓦斯氣和沼氣池中也含有大量的甲烷。甲烷（CH4）和空氣的混合氣在點燃時會發(fā)生爆炸。在空氣的體積爆炸范圍為5.3%~14.0%，質量的爆炸范圍為35~93mg/L。甲烷與氧氣的混合氣的體積爆炸范圍為8.25%~55.8%。甲烷和氯氣（Cl2）的混合氣，收到日光直射時，也容易引起爆炸。在新鮮的空氣中甲烷的爆炸極限一般為5.3%~...

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